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Ikada-Symbol

iCADA Suite

Intelligente Steuerung und Analyse für dauerhafte Sicherheit

Umfassende Lösungen für die fortschrittliche Verwaltung von Durables, Reticles und Probe Cards

Die iCADA Suite bietet fortschrittliche Lösungen für die Verwaltung von Verbrauchsmaterialien, Reticles und Probe Cards in allen Phasen des Lebenszyklus. Von der Verwendung bis zur Lagerung, Inspektion und Wartung hilft sie, die Materialnutzung zu optimieren, Risiken zu reduzieren und die Produktionsqualität zu gewährleisten. Mit Echtzeitverfolgung, optimierten Arbeitsabläufen und zentralem Zugriff steigert die iCADA Suite die Effizienz und verlängert die Lebensdauer wichtiger Anlagen in der Halbleiterfertigung.

Nahaufnahme einer behandschuhten Hand, die einen Halbleiterchip zur Prüfung in einer Reinraumumgebung hält.

Diese Kunden schenken uns bereits ihr Vertrauen

Reticle Management in der Halbleiterfertigung

Reticles sind wichtige Fotomasken, die in der Fotolithografie zur Übertragung von Schaltkreismustern auf Siliziumwafer verwendet werden. Angesichts ihrer kritischen Rolle und der hohen Kosten ist ein effektives Reticle-Management der Schlüssel zur Aufrechterhaltung der Produktionsqualität und des Ertrags in Halbleiterfabriken.

Die wichtigsten Herausforderungen beim Reticle-Management:

  • Verhinderung von Verunreinigungen, Defekten und Schäden bei der Handhabung und Lagerung.

  • Beherrschung der Abnutzung der Masken durch wiederholte Verwendung durch regelmäßige Inspektion und Reinigung.

  • Sicherstellung der korrekten Verwendung und Verfolgung der Masken, um Produktionsfehler zu vermeiden.

  • Kostenreduzierung durch effiziente Nachverfolgung und Wartung der Masken.

Merkmale Highlight

End-to-End Traceability Icon - Ein kreisförmiges Netzwerksymbol mit miteinander verbundenen Knoten, das die Fähigkeit von iCADA darstellt, Daten während des gesamten Produktionsprozesses zu verfolgen und zu verfolgen.

End-to-End-Rückverfolgbarkeit

 
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Automatisierte Inspektion und Analyse

 
Smart Maintenance Planning Icon - Ein Zahnrad mit kreisförmigen Pfeilen, das die vorausschauende Wartungsplanung von iCADA zur Minimierung von Ausfallzeiten und zur Gewährleistung eines effizienten Anlagenbetriebs symbolisiert.

Intelligente Wartungsplanung

 
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Maske Anbieterkonnektivität (MaVen)

 
Mask Vendor Connectivity (MAVEN) Icon - Ein Zahnrad mit einem Verbindungslink, das die nahtlose Integration von iCADA mit Maskenherstellern symbolisiert, um die Kommunikation und den Datenaustausch zu erleichtern.

Nahtlose Integration

 
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Konfigurierbare Workflows und Geschäftsregeln

 
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Kostenkontrolle durch optimierte Absehenausnutzung

 

Modulare Lösungen für die intelligente Steuerung, Analyse und Verwaltung langlebiger Güter

Die iCADA Suite deckt den gesamten Lebenszyklus wichtiger Produktionsanlagen ab, einschließlich Verfolgung, Inspektion, Validierung und Wartung, um einen reibungslosen Betrieb und kontrollierte Prozesse in Halbleiterfabriken sicherzustellen. Der modulare Ansatz der iCADA Suite ermöglicht es Herstellern, ihre Lösungen an die jeweiligen Produktionsanforderungen anzupassen und zu skalieren. Die Lösungen lassen sich problemlos in bestehende Umgebungen integrieren und unterstützen langfristiges Wachstum.

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Absehen-Lebenszyklus-Management

Umfassendes Management der Absehen-Lebenszyklen zur Gewährleistung der Trübungskontrolle und zur Vermeidung von Kristallwachstum.
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Verwaltung der Netzhautinspektion

Zentralisiertes System zur Überprüfung und Analyse von Netzhautinspektionsergebnissen aus verschiedenen Tools und Quellen. Erweiterung des Reticle Lifecycle Management (RTCL).
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Probe Card Management

Zentralisierte Lösung für die Verwaltung von Sondenkarten und -baugruppen zur Unterstützung einer effizienten Wartung und eines effizienten Betriebs.
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Verwaltung langlebiger Güter

Vollständiges Lebenszyklusmanagement für alle Gebrauchsgüter, um eine optimale Nutzung und Wartung zu gewährleisten.

Integrierte Lösungen zur Stärkung des Absehenmanagements

Mit der iCADA Suite erhalten Halbleiterhersteller eine umfassende Reticle Lifecycle Management (RLM) Lösung. Als Teil von camLine erweitert iCADA seine Fähigkeiten durch die nahtlose Anbindung an die Lösungen von camLine und ermöglicht so einen vollständig integrierten und automatisierten Workflow für Reticle-, Probe Card- und Durables-Management.

Diagramm zur Integration des iCADA RTCL-Lithografiebetriebs, das die wichtigsten Funktionen wie MES-Host-Integration und -Automatisierung, Zusammenarbeit mit der Maskenfertigung, Reticle-Pod-Verwaltung, Reticle-Versand und -Lieferung, Reticle-Verfolgung und -Kontrolle sowie Reticle-Inspektion und -Reparatur zeigt.

Inspektion, Reparatur und Lagerverwaltung

Sorgen Sie für eine effiziente Inspektion, Reparatur und Lagernutzung von Retikeln mit vollständiger Rückverfolgbarkeit über den gesamten Lebenszyklus und Wartungskontrolle, unterstützt durch die Maschinenmanagementlösung (LineWorks MMS).

Analytik und Berichterstattung

Mit dem fortschrittlichen Überwachungs- und Berichtstool (LineWorks FACE) erhalten Sie verwertbare Einblicke und Dashboards in Echtzeit, die datengestützte Entscheidungen im Reticle-Management ermöglichen.

Lieferantenqualität und Zusammenarbeit

Koordinieren Sie sich mit den Maskenherstellern und stellen Sie die Qualität der eingehenden Masken durch automatische Validierung und Kommunikation sicher, unterstützt durch die Qualitätsmanagementlösung für Lieferanten (LineWorks SQM).

Träger- und Zielfernrohrmanagement

Optimieren Sie die Handhabung und Nachverfolgung von Reticle Pods und Carriern mit der Carrier-Management-Lösung (LineWorks CarMa) und sorgen Sie für sicheren Transport und Lagerung.

Rezeptur- und Ressourcenmanagement

Verwalten Sie Rezepte und Produktionsressourcen und halten Sie die Ausrüstung gemäß den Rezepten instand, um die ordnungsgemäße Verwendung von Retikeln und die Integration mit Lithografie-Werkzeugen zu gewährleisten, was durch die fortschrittliche Rezeptverwaltungslösung (LineWorks RM) ermöglicht wird.

Materialfluss-Automatisierung

Kontrollieren Sie den Materialfluss und verfolgen Sie, wie die Retikel transportiert werden - Sie wissen, woher sie kommen und wohin sie gehen. Mit dem Materialkontrollsystem der nächsten Generation (RACE MCS™) stellen Sie die Echtzeitkoordination in der Fertigung sicher und unterstützen den nahtlosen Versand und die Lieferung der Retikel.

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Sind Sie bereit, das Reticle- und Durables-Management in der Halbleiterfertigung zu verbessern?

Entdecken Sie, wie ein fortschrittliches Reticle-, Probe Card- und Durables-Management die Effizienz steigern und Risiken in der Halbleiterfertigung reduzieren kann. Setzen Sie sich mit uns in Verbindung, um herauszufinden, wie die iCADA Suite zu Ihrer Produktionsumgebung und Ihren Geschäftsanforderungen passt.

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Automatisierungsprojekte."

- Russell Shirley, Infineon Fab 25

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